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光學(xué)薄膜測量儀的原理及其主要特點(diǎn)都有哪些?

更新時(shí)間:2022-10-18    點(diǎn)擊次數(shù):733
   光學(xué)薄膜測量儀的原理:
  當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對粗糙度測量的影響。
  根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺(tái)階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
 

光學(xué)薄膜測量儀

 

  光學(xué)薄膜測量儀的主要特點(diǎn):
  真空壓差法測試原理;
 
  三腔獨(dú)立測試;
 
  三腔循環(huán)介質(zhì)控溫,各自獨(dú)立溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控;
 
  智能模式,試驗(yàn)過程全自動(dòng),一鍵式操作;
 
  真空泵自動(dòng)啟停,無需人工開關(guān);
 
  氣體透過率、擴(kuò)散系數(shù)、溶解度系數(shù)、滲透系數(shù)測試;
 
  多種試驗(yàn)?zāi)J娇蛇x擇,可滿足各種標(biāo)準(zhǔn)、非標(biāo)試驗(yàn);
 
  數(shù)據(jù)審計(jì)追蹤、溯源;系統(tǒng)日志記錄;
 
  5級(jí)用戶權(quán)限管理;
 
  溫度曲線、濕度曲線、壓差曲線、曲線獨(dú)立顯示、曲線疊加;
 
  可支持DSM實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)管理系統(tǒng),能實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)監(jiān)控、數(shù)據(jù)統(tǒng)一管理。
 
  光學(xué)薄膜測量儀由測繪主機(jī)、測繪平臺(tái)、Y型光纖及上位機(jī)軟件搭建而成,核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀結(jié)合*的算法技術(shù),為用戶提供的自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測量儀。

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